三坐標測量機的組成相對復雜，主要由機械部件、電氣控制部件和計算機系統組成。通常，在使用三坐標測量機測量工件時，也要注意機器的維護，以延長機器的使用壽命。
下面我們從三個方面來說明三坐標測量機的基本保養。
機械部件
三坐標測量機的機械部件有很多種。我們需要日常維護的是傳動系統和氣路系統的部件。維護頻率應根據測量機的環境確定。一般來說，對于環境較好的測量機，我們建議每三個月進行一次常規維護。如果用戶使用環境中灰塵較多，測量間的溫濕度不能完全滿足測量機的使用環境要求，應每月進行一次常規維護。對于測量機的常規維護，我們應該了解影響測量機的因素
1.壓縮空氣對測量機的影響
絕大多數測量機使用氣浮軸承使運動軸運動無摩擦，其原理是將壓縮空氣從氣浮塊孔中噴出，在氣浮塊與導軌之間形成一定厚度的氣膜，使測量機各軸運動無摩擦，保證測量機的正常運動狀態和測量精度。從上面可以看出，氣浮塊的正常浮動狀態對測量機的正常運行非常重要。
1.壓力對測量機的影響
在正常工作壓力的前提下，氣浮塊的浮起間隙約為6~10μm，空氣壓力的波動會改變氣浮塊的氣浮間隙，影響測量的重復性。當氣壓嚴重不足時，氣浮塊不能完全浮動，與導軌摩擦，輕影響測量機的運動狀態和測量精度，嚴重磨損導軌和氣浮塊，嚴重損壞測量機。Z在氣壓嚴重不足的情況下，軸采用氣動平衡的測量機會導致Z軸失衡，非常危險。因此，盡量保證測量機工作壓力的穩定性。
1)選擇合適的空氣壓縮機，最好有另一個儲氣罐，使空氣壓縮機工作壽命長，壓力穩定。
2)空氣壓縮機的啟動壓力必須大于工作壓力。
3)開機時，先打開空壓機，再接通電源。
2.油水對三坐標測量機的影響
由于空氣壓縮機壓縮空氣，將空氣中的水分子和油分子壓縮成水和油，空氣壓縮機本身也需要潤滑其機構，也使部分潤滑油進入壓縮空氣。進入壓縮空氣的水和油隨著壓縮空氣進入平衡氣缸和氣浮塊。測量機工作時，水和油附著在導軌上，改變導軌的直線度。當測量機不工作時，管道中的油滴可能會堵塞氣浮塊的孔隙，使氣浮塊不能正常浮動，導致氣浮塊與導軌之間的摩擦，損壞測量機，使氣管老化。管道中的水也會腐蝕氣浮塊和平衡氣缸。雖然測量機配備了油水分離器或前置過濾器，但如果進入管道的水和油太多，過濾器就會因飽和而無法過濾，使水和油進入測量機。因此，必須采用前置過濾方法，盡量在水和油進入測量機之前過濾掉。
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